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2023-06-30
多弧離子反應鍍膜設備可鍍色彩
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1. 鍍銀灰色∶用鈦靶材,真空鍍抽至1.5 ×10-2Pa,充 Ar(氬氣)至 1.0×10-1Pa左右鍍三分鐘左右.(產生 Ti金屬層)

2. 鍍銀白色∶用鉻靶材,真空度抽至1.0×10-2Pa,充 Ar(氬氣)至1.5×10-1Pa左右鍍三分鐘左右.(產生 Cr金屬層)

3.鍍金色∶用鈦靶材,真空度抽至1.5×10-2Pa,充Ar(氬氣)至1×10-1Pa鍍60秒 —關氬氣(Ar)—開氮氣至2~4×10-1Pa鍍4分鐘左右.(產生 TiN化合物)

4. 鍍古銅色∶用一半鈦靶材,一半鈦鋁靶材,充 Ar(氬氣)至 1×10 Pa-1開鈦靶鍍50秒—關 Ar(氬氣)開氮氣至1×10-1Pa—開鈦靶、鈦鋁靶—充乙炔150流量左右,氮氣調至 3×10-1Pa左右,鍍4分鐘(加熱爐體至 200°C左右).(產生 TiCN和 TiN 化合物)

5. 鍍玫瑰金色∶跟古銅色一樣操作,只是乙炔在 60 流量左右,氮氣調至 2.5×10-1Pa左右(氮氣、乙炔要同時加進去反應,乙炔要保持不變,真空度多少只調節氮氣流量,古銅跟玫瑰金同樣調節).(產生TiCN 化合物)

6.鍍五彩色∶用鈦靶材,充 Ar(氬氣)至1.0×10-1Pa鍍1分鐘后,關氬氣,開N氮氣至2.5×10-1Pa鍍70秒后關氮氣,開氧氣 O2至4.5 ×10-1Pa鍍160秒左右,(產生 TiO2、Ti2O3等氧化物)

7.鍍珠光色∶用鈦靶材,充 O2(氧氣)在 6.5×10-1Pa~7.5× 10-1Pa不變動,鍍40秒左右即可,注意同時引弧,加熱爐體至 180°C.(產生 TiO2、Ti2O3等氧化物)

8.鍍18K金色∶用鋯靶材,充 Ar(氬氣)至1.0×10-1Pa鍍30秒,關氬氣,開氮氣至 2~4×10-1Pa左右鍍3~4分鐘即可.(產生 ZrN化合物)

9.鍍土豪金色∶裝一半鈦靶材,一半錯靶材,充 Ar((氬氣)1.0× 10-1Pa鍍鈦靶 30秒后關氬氣,開氮氣至 2~4×10-1Pa左右,開鈦靶、鋯靶,鍍4分鐘左右.(產生 TiZrN化合物)

10.鍍透明七彩色(AB 彩)∶用鈦靶材,充 O2(氧氣)至6.5~7.5×10-1Pa鍍4分鐘左右,加熱爐戶溫 150°C.(產生 TiO2、Ti2O3;TiO、等氧化物)

11.鍍酒紅色∶用鐵靶材,充O2(氧氣)至7.5~9.5×10-1Pa鍍4~6分鐘,加熱爐溫150°℃左右,弧焊機電流在150A左右(產生 Fe2O3氧化物).

12.鍍琥珀色∶用鐵靶材,充O2(氧氣)至7.5~9.5×10-1Pa鍍1.5~2.5分鐘,加熱爐溫150℃左右,弧焊機電流在 150A左右.(產生 Fe2O3氧化物)

13.鍍寶石藍色,用鈦靶材,充 Ar(氬氣)至 1.0×10-1Pa鍍 60秒后關氯氣,開氮氣800-900流量,同時開氧氣1000-1130流量(真空控制在2.5~3.5×10-1Pa鍍110秒左右).(產生 TiO2、Ti2O3、TiO、等氧化物和 TiN 化合物的混合膜層)

14.鍍紫色∶同十三號工藝,充氮氣和氧氣的鍍膜時間控制在 60-70 秒左右,真空在2.5~3.8×10-1Pa左右即可.

15.鍍鉻黑色∶用鈦 Ti和 鉻靶材,先充入氬氣Ar在 1×10-1Pa鍍60秒左右,關鈦靶,開鉻靶,關小氯氣至 80-120流量再通入 CH乙快氣至8~9.0×10-1Pa,鍍 300秒左右.(產生 CrC黑色膜層)

16.鍍槍黑色∶用鈦靶材,充入 Ar氣在 1.0×10-1Pa鍍60秒后,關小氬氣至 80-120流量,再通入 CH乙炔氣在 8~9×10-1Pa鍍 300秒左右.(產生 TiC化合物膜層).



作者:小研 來源:未知
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